第一步：首先，离子氮化多用途炉体与供气系统分离，目的是区分是否是炉体或供气系统引起的漏风。将进气管与钟罩分开，然后密封进气接头，启动真空泵抽真空，抽到较高的真空度（例如。约30Pa或更高），关闭蝶阀，暂停一段时间（15-30分钟），观察设备漏气情况..

第二步：在完成第一步骤中，当多片式等离子体氮化炉内气体泄漏后，应检查每个可能的泄漏的每个密封部分（包括观察窗，充气机，钟降低密封凸缘表面上的大凸缘之间的耦合底盘密封，压力密封部分，所述阴极，气门和排气管道等）的密封部，直到该离子氮化炉多基本上是气密for.NOTE：在实施例中，当检查步骤中，遵循的原则是“分段”试验方法，即，步骤一个步骤，每个步骤之后进行检查，真空检查所观察到的效果，如果泄漏被解决，则没有其他测试来执行。否则，又将体检

第三步：第一步后，如果离子渗氮的多功能炉体没有泄漏，则炉体的所有密封件都处于良好状态。然后慢慢打开蝶阀，可能出现以下两种情况。

步骤4: 前三步完成后，解决了渗氮多用炉炉体漏气问题或确定漏气不是炉体造成的，将第一步从等离子渗氮炉炉体分离出来的进气管重新连接到炉钟罩上(并确保接头密封良好) ，先关闭流量计，然后启动真空泵对炉体进行真空。 这个程序的目的是检查气体供应系统是否有泄漏。 如果发现设备漏气，可以检查进气接头、风管、各种气流三通接头密封，直到气体漏气问题消除。